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螺旋推进烧结炉是指使粉末压坯通过烧结获得所需的物理、力学性能以及微观结构的专用设备。烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有机成分、完成铝背场及栅线烧结。
为了保持粉末压坯在烧结过程中的脱蜡(润滑剂或成形剂)、还原、合金化、组织转变等顺利进行,烧结时需要对烧结温度、保护气氛、压坯传送方式、加热和冷却速度等进行正确的控制。
螺旋式连续推进加热炉(氮气保护)
(1)具有完善的润滑剂烧除装置(俗称脱蜡带)。
(2)具有气密性,即能隔绝炉外空气并保持炉内保护气氛畅通。
(3)炉内的各段温度可控,烧结气氛可调。
(4)具有快速冷却装置,可将烧结零件快速冷却到出炉温度而不会氧化。
螺旋式连续推进加热炉(氢气保护)
1、用前级机械泵系统预抽真空,同时对炉体进行加热,有真空压力表可检测炉内真空。
2、当真空度达到预定指标时,关闭真空泵。从充气孔持续充入适当计量的氨气和氮气混合气体,并使炉内气压略高与大气压,气体从排气口排出。有气压计可检测炉内气压。
3、当炉体加热区域温度达到预定指标时,启动设备右侧的空气隔离进料机(简称进料机)连续进料,同时启动螺旋推进电机使物料自右向左移动。
4、启动设备左侧的空气隔离出料机(简称出料机)连续出料。
5、待物料全部进入进料机后,停止进料,螺旋推进电机继续工作。
6、待出料机没有物料排出后停止螺旋推进电机和出料机。
- 上一个:天然气旋转烘干炉